Osram HBO 1500 W/PIL HP
Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für ASM-L Stepper PAS 5500/22 /100 /100B /TFH 100
Anwendung z.B.:
Microlithographie
Microlithographie
Technische Daten
| Wellenform : | DC |
| Leistung : | 1500 W |
| Spannung : | 23 V |
| LCL : | 118 mm |
| Strom : | 65 A |
| Lebensdauer : | 1500 h |
| Anodensockel : | SFc 30-6/25 |
| Kathodensockel : | SFc 27-10/35 |
| Kolbendurchmesser : | 52 mm |
| Elektrodenabstand : | 4 mm |
| Zündspannung : | max. 20000 V |
| Länge l1 : | 273 mm |
| Länge l2 : | 240-242 mm |
Preis auf Anfrage