Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für GCA i-line Stepper. Ausgelegt für Pulsstrom-und Konstantstrombetrieb.
Anwendung z.B.:
Microlithographie
Wellenform : | DC |
Leistung : | 700 W |
Spannung : | 26,8 V |
LCL : | 85 mm |
Strom : | 25,1 A |
Lebensdauer : | 850 h |
Anodensockel : | SFcX 14-6/25 |
Kathodensockel : | SFc 15-6/25 |
Kolbendurchmesser : | 29 mm |
Elektrodenabstand : | 3 mm |
Zündspannung : | max. 15000 V |
Länge l1 : | 195-197 mm |
Länge l2 : | 167,5-169,5 mm |
EAN : | |