Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für Nikon i-line Stepper PAS 5500/45 B /55B, /60B, 80B, /100, /100B /SPRINT. Auslegung für Konstantstom und Pulsstrombetrieb.
Anwendung z.B.:
Microlithographie
Wellenform : | DC |
Leistung : | 700 W |
Spannung : | 25,8 V |
LCL : | 85 mm |
Strom : | 27,1 A |
Lebensdauer : | 850 h |
Anodensockel : | SFcX 14-6/25 |
Kathodensockel : | SFc 15-6/25ab mit Gewinde M6 |
Kolbendurchmesser : | 29 mm |
Elektrodenabstand : | 3 mm |
Länge l1 : | 195 mm |
Länge l2 : | 167,5 mm |
EAN : | 4050300382135 |