Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für Nikon i-line Stepper PAS 5500/45 B /55B, /60B, 80B, /100, /100B /SPRINT. Auslegung für Konstantstom und Pulsstrombetrieb.
Anwendung z.B.:
Microlithographie
| Wellenform : | DC |
| Leistung : | 700 W |
| Spannung : | 25,8 V |
| LCL : | 85 mm |
| Strom : | 27,1 A |
| Anodensockel : | SFcX 14-6/25 |
| Lebensdauer : | 1500 h |
| Kathodensockel : | SFc 15-6/25ab mit Gewinde M6 |
| Kolbendurchmesser : | 29 mm |
| Elektrodenabstand : | 3 mm |
| Länge l1 : | 195 mm |
| Länge l2 : | 167,5 mm |
| EAN : | |
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