Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für ASM-L Stepper PAS 5500/22 /100 /100B /TFH 100
Anwendung z.B.:
Microlithographie
Wellenform : | DC |
Leistung : | 1500 W |
LCL : | 118 mm |
Spannung : | 23 V |
Strom : | 65 A |
Lebensdauer : | 1500 h |
Anodensockel : | SFc 30-6/25 |
Kathodensockel : | SFc 27-10/35 |
Kolbendurchmesser : | 46 mm |
Elektrodenabstand : | 4 mm |
Zündspannung : | max. 20000 V |
Länge l1 : | 273 mm |
Länge l2 : | 240-242 mm |
EAN : | |