Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für ASM-L Stepper PAS 5500/200
Anwendung z.B.:
Microlithographie
Wellenform : | DC |
Leistung : | 2500 W |
Spannung : | 28 V |
LCL : | 149 mm |
Strom : | 90 A |
Lebensdauer : | 1500 h |
Anodensockel : | Sfa 30-6/50 |
Kathodensockel : | SFc 30-6,5/50 |
Kolbendurchmesser : | 62 mm |
Elektrodenabstand : | 6,7 mm |
Länge l1 : | 350 mm |
Länge l2 : | 312,5-315 mm |
EAN : | |