Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für ASM-L Stepper PAS 5500/200
Anwendung z.B.:
Microlithographie
| Wellenform : | DC |
| Leistung : | 2500 W |
| LCL : | 149 mm |
| Spannung : | 28 V |
| Strom : | 90 A |
| Lebensdauer : | 1500 h |
| Anodensockel : | Sfa 30-6/50 |
| Kathodensockel : | SFc 30-6,5/50 |
| Kolbendurchmesser : | 62 mm |
| Elektrodenabstand : | 6,7 mm |
| Länge l1 : | 350 mm |
| Länge l2 : | 312,5-315 mm |
| EAN : | |
Archivartikel.
Diese Seite dient Dokumentationszwecken; der Artikel ist nicht bestellbar.