Quecksilberdampf Kurzbogenlampe
Für ASM-L Scanner der AT400 Serie.
Anwendung z.B.:
Microlithographie
Wellenform : | DC |
Leistung : | 5000 W |
Spannung : | 25 V |
LCL : | 154 mm |
Strom : | 200 A |
Anodensockel : | SFcX 42,5-6/50 |
Lebensdauer : | 850 h |
Kathodensockel : | Sfa 37,5-9/50 |
Kolbendurchmesser : | 85 mm |
Elektrodenabstand : | 5,5 mm |
Zündspannung : | max. 20000 V |
Länge l2 : | 352,5-355 mm |
EAN : | |